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基于空氣粒子計數器的潔凈室實時顆粒管控技術方案

更新時間:2025-09-11   點擊次數:163次


一、技術選型與標準適配

00001. ?粒徑范圍?

· 需覆蓋0.1μm~10μm的顆粒檢測,半導體/醫(yī)藥行業(yè)需重點關注0.3μm~5μm的敏感粒徑。

· 激光粒子計數器(如0.1μm分辨率)適用于高精度場景,光散射法傳感器適合成本敏感型應用。

00002. ?流量選擇?

· 大流量(28.3L/min)適用于快速掃描,小流量(2.83L/min)適合高精度區(qū)域監(jiān)測。

00003. ?合規(guī)性?

· 設備需符合ISO 14644-1、GMP等標準,校準需遵循JJF1190-2008規(guī)范。

二、實時監(jiān)測系統(tǒng)架構

· ?硬件組成?

· 粒子計數器(多測點布局)、浮游菌采樣器(制藥行業(yè))、溫濕度傳感器。

· 數據采集模塊支持Modbus/RS485協議,實現設備互聯。

· ?軟件功能?

· 動態(tài)閾值預警(如ISO 5級超標自動報警)、數據可視化看板、歷史趨勢分析。

· 支持與FFU風機、HVAC系統(tǒng)聯動,實現凈化強度自動調節(jié)。

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三、行業(yè)差異化方案

行業(yè)

核心需求

典型配置

半導體

0.1μm顆??刂疲离娐范搪?/span>

激光粒子計數器+多測點布局

制藥

微生物關聯監(jiān)測,符合GMP動態(tài)要求

浮游菌采樣器+粒子計數器組合

電子裝配

成本敏感,中等潔凈度

光散射法傳感器+局部監(jiān)測

四、實施關鍵步驟

00001. ?測點布置?

· 層流室≥20個測點,亂流室每50㎡設5個,高度1m(參考ISO 14644-2)。

00002. ?狀態(tài)區(qū)分?

· 動態(tài)檢測數據(生產狀態(tài)下)比空態(tài)/靜態(tài)更具實際參考價值。

00003. ?維護校準?

· 6個月校準激光光源,定期清潔采樣口避免堵塞。

五、數據管理與擴展功能

· ?數據存儲與分析?

· 采用云端存儲技術,確保數據的安全性和可追溯性。

· 通過高級分析工具,識別顆粒物來源和趨勢,優(yōu)化管控策略。

· ?擴展功能?

· 集成AI算法,預測潛在污染事件,提前采取預防措施。

· 支持移動端訪問,實現遠程監(jiān)控和管理。

 





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